Кристаллизация тонких пленок поли-Si

Пример анализа тонкопленочного поликремния.
Известно, что электронная подвижность поликремния выше, чем у аморфного кремния, поэтому в тонкопленочный поликремний использовался жидкокристаллических дисплеях и в элементах солнечных батарей. Поликремний получают путем нагрева аморфного кремния. В процессе перехода от аморфного кремния к поликремнию изменяется рамановский спектр, а пик комбинационного рассеяния появляется при более высоком волновом числе для более высокого кристаллического поликремния, так что RAMANtouch можно использовать для оценки тонкопленочного поликремния. Образец был изготовлен путем облучения эксимерным лазером тонкопленочного аморфного кремния толщиной около 300 нм. Далее была обнаружена граница из двух областей, которые образованы при разных условиях облучения лазером (условие 1 и условие 2). Разница условий обротки лазером и различие в кристалличности из-за неравномерности лазерного освещения четко наблюдаются на рамановском изображении.