Анализатор пластин RAMANdrive
Система навигации столика производства Nanophoton считывает данные координат, полученные с помощью устройства контроля посторонних частиц/дефектов установленного у пользователя и использует их для перемещения пластины во все указанные позиции для подробного анализа. Столик перемещает пластину безопасно и с высокой точностью во все направления.
Точный и стабильный столик под 300 мм подложкуБольшие пластины до 300 мм (8 дюймов) можно разместить на столике. Вакуумные линии соединены с небольшими отверстиями в каналах, что позволяет приложенному вакууму выравнивать и удерживать пластину на столике. Наш расширенный столик пластин позволяет лазеру получить доступ ко всей открытой поверхности пластины. Высокий образец также можно проанализировать, поместив его в глубокую часть канала.
Загрузка интересующих областей с помощью системы навигации столика
Этапная навигационная система является неотъемлемой частью программного обеспечения RAMANdrive, предназначенного для экономии времени и повышения эффективности. Просто загрузите ваши данные из вашего обычного инспекционного оборудования и RAMANdrive идентифицирует необходимые области автоматически перемещая пластину в заданные позиции. Если это необходимо, данная технология работает такжее с другими образцами.
Рабочий процесс анализа посторонних объектов с помощью Stage Navigation.
Компания Nanophoton разработала специальную технологию, обеспечивающую максимальную скорость сканирования с помощью уникальной лазерной системы освещения по линии. Специальная система освещения и детектирования позволяет получить 400 спектров за одно освещение лазером. Чтобы получить полное рамановское изображение интересующей вас области, пользователь, перемещая лазерную линию через образец, не перемещая образец, в течение нескольких минут собирает несколько сотен тысяч данных. Технология Nanophoton обеспечивает высочайшую скорость без ограничения в разрешении и точности.
Общая схема разработанной сверхскоростной рамановской системы формирования изображений.
Компания Nanophoton разработала специальную конфокальную оптическую систему, обеспечивающую самое высокое пространственное и спектральное разрешение в трех измерениях. Высочайшее пространственное разрешение повышает чувствительность обнаружения частиц размером менее 100 нм. Высочайшее спектральное разрешение в сочетании с необходимой точностью позиционирования дает вам потрясающие результаты даже при анализе напряжений и политипов.
Высочайшее пространственное разрешение
| Образец | флуоресцентные шарики (Ø200 нм) |
| Длина волны возбуждения | 532 нм |
| Объектив | 100x, 0,90 NA |
Спектральное разрешение и точность позиционирования пика
| Длина волны возбуждения | 785 нм (Л) / 532 нм (П) |
| Решетка | 1200 (Л) / 2400 (П) |
Самое высокое наше пространственное разрешение повышает чувствительность обнаружения мелких частиц. Высококачественная темнопольная микроскопия позволяет легко идентифицировать частицы размером менее 100 нм. Затем лазерный луч будет точно сфокусирован на ней с помощью гальванометрических зеркал, создавая спектр с высоким отношением сигнал/шум, который можно идентифицировать путем поиска в библиотеке
Изображение в темнопольном микроскопе и рамановский спектроскопический анализ инородного материала размером 100 нм. Визуализация распределения напряжения с помощью 3D рамановской микроскопии.
Наша конфокальная оптика позволяет исследовать по глубине прозрачные образцы, таких как SiC и GaN.
Фотолюминесцентная (ФЛ) визуализация широко используется для наблюдения за распределением дефектов, примесей и самого GaN. Опция лазерного излучения с длиной волны 325 нм используется для преодоления ширины запрещенной зоны и обнаружения спектров ФЛ от точек InGaN с различными размерами и составом. Ультрафиолетовый лазер также полезен для измерения спектров комбинационного рассеяния на самой внешней поверхности образцов из-за его малой глубины проникновения.
Применение:
Напряжение в пластине SiC
Применение:
Фотолюминесцентный анализ InGaN/GaN
| Спецификация | |
|---|---|
| Длина волны лазера | 325 нм, 355 нм, 488 нм, 532 нм, 671нм, 785 нм. |
| Лазерное освещение | Точечное / Линейное |
| Фокусное расстояние спектрографа | 550мм |
| Решетка | 150, 300, 600, 1200, 1800, 2400реш/мм (максимум 3 решетки) |
| Детекторс TE-охлаждением | CCD 1340 × 400 пикселей |
| Микроскоп | Прямой |
| Размер | Ш1276 × Г1320 мм × В1350 (включая антивибрационный стол) |
| Вес | 390кг (включая антивибрационный стол) |
| Производительность | |
| Пространственное разрешение (X/Y/Z) | 350 нм / 500 нм / 1000 нм (при 532нм, 100x 0,90NA) |
| Спектральный диапазон | 100 см-1 (опция: ～50 см-1) |
| Спектральное разрешение (FWHM) | 1,2 см-1 (при 785 нм ×1200 реш/мм) |
| Разрешение пикселей (спектр) | 0,4 см-1 / пиксель (при 785 нм × 1200 реш/ мм) |
| Точность положения пика | 0,1 см-1 (при 532 нм, 2400 реш/ мм) |
