Система навигации столика производства Nanophoton считывает данные координат, полученные с помощью устройства контроля посторонних частиц/дефектов установленного у пользователя и использует их для перемещения пластины во все указанные позиции для подробного анализа. Столик перемещает пластину безопасно и с высокой точностью во все направления.
Точный и стабильный столик под 300 мм подложку
Большие пластины до 300 мм (8 дюймов) можно разместить на столике. Вакуумные линии соединены с небольшими отверстиями в каналах, что позволяет приложенному вакууму выравнивать и удерживать пластину на столике. Наш расширенный столик пластин позволяет лазеру получить доступ ко всей открытой поверхности пластины. Высокий образец также можно проанализировать, поместив его в глубокую часть канала.
Загрузка интересующих областей с помощью системы навигации столика
Этапная навигационная система является неотъемлемой частью программного обеспечения RAMANdrive, предназначенного для экономии времени и повышения эффективности. Просто загрузите ваши данные из вашего обычного инспекционного оборудования и RAMANdrive идентифицирует необходимые области автоматически перемещая пластину в заданные позиции. Если это необходимо, данная технология работает такжее с другими образцами.
Рабочий процесс анализа посторонних объектов с помощью Stage Navigation.
Высокопроизводительная рамановская визуализация
Компания Nanophoton разработала специальную технологию, обеспечивающую максимальную скорость сканирования с помощью уникальной лазерной системы освещения по линии. Специальная система освещения и детектирования позволяет получить 400 спектров за одно освещение лазером. Чтобы получить полное рамановское изображение интересующей вас области, пользователь, перемещая лазерную линию через образец, не перемещая образец, в течение нескольких минут собирает несколько сотен тысяч данных. Технология Nanophoton обеспечивает высочайшую скорость без ограничения в разрешении и точности.
Общая схема разработанной сверхскоростной рамановской системы формирования изображений.
Компания Nanophoton разработала специальную конфокальную оптическую систему, обеспечивающую самое высокое пространственное и спектральное разрешение в трех измерениях. Высочайшее пространственное разрешение повышает чувствительность обнаружения частиц размером менее 100 нм. Высочайшее спектральное разрешение в сочетании с необходимой точностью позиционирования дает вам потрясающие результаты даже при анализе напряжений и политипов.
Высочайшее пространственное разрешение
Образец
флуоресцентные шарики (Ø200 нм)
Длина волны возбуждения
532 нм
Объектив
100x, 0,90 NA
Спектральное разрешение и точность позиционирования пика
Длина волны возбуждения
785 нм (Л) / 532 нм (П)
Решетка
1200 (Л) / 2400 (П)
Рамановский анализ 100 нм частицы
Самое высокое наше пространственное разрешение повышает чувствительность обнаружения мелких частиц. Высококачественная темнопольная микроскопия позволяет легко идентифицировать частицы размером менее 100 нм. Затем лазерный луч будет точно сфокусирован на ней с помощью гальванометрических зеркал, создавая спектр с высоким отношением сигнал/шум, который можно идентифицировать путем поиска в библиотеке
Изображение в темнопольном микроскопе и рамановский спектроскопический анализ инородного материала размером 100 нм.
Визуализация распределения напряжения с помощью 3D рамановской микроскопии.
Наша конфокальная оптика позволяет исследовать по глубине прозрачные образцы, таких как SiC и GaN.
Фотолюминесцентная (ФЛ) визуализация широко используется для наблюдения за распределением дефектов, примесей и самого GaN. Опция лазерного излучения с длиной волны 325 нм используется для преодоления ширины запрещенной зоны и обнаружения спектров ФЛ от точек InGaN с различными размерами и составом. Ультрафиолетовый лазер также полезен для измерения спектров комбинационного рассеяния на самой внешней поверхности образцов из-за его малой глубины проникновения.
Загрузка интересующих областей с помощью системы навигации столика
